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半导体行业深度分析报告：光刻为半导体设备之巅，冰山峰顶待国产曙光
- 2023-02-24 15:05:15上传人：捞月**的人
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- 行业深度分析报告 /证券研究报告
- 图 1. 光刻产业链格局图
- 图 2. 芯片性能的发展整体遵循摩尔定律
- 图 3. 光刻的基本原理
- 图 4. 芯片生产的工艺步骤
- 图 5. ASML 光刻机的全球供应链
- 图 6. 多 类设备与光刻密切相关
- 图 7. 光刻配套的量测设备 /部件
- 图 8. 光刻计算系统
- 图 9. 光刻机描绘电路的图纸：掩模版
- 图 10. 光刻机绘图的底板：涂布中的光刻胶
- 图 11. 光刻技术的发展图谱
- 图 12. 接触 /接近式光刻机
- 图 13. 德国苏斯公司的光刻机
- 图 14. 初代投影光刻机的工作原理
- 图 15. 三种投影光刻机的成像方式
- 图 16. 上海微电子步进重复光刻机
- 图 17. 步进扫描式光刻双工件台
- 图 18. 步进扫描光刻机运动原理
- 图 19. 7 纳米（含）前制程均用 DUV 光刻机完成
- 图 20. ASML 光刻机性能参数不断进步
- 图 21. 光刻机的浸没式系统
- 图 22. ASML 市场份额快速攀升
- 图 23. 双重光刻工艺（ LELE ）
- 图 24. 利用侧墙实现的自对准双重图形（ SADP ）
- 图 25. 套刻误差对图案的影响
- 图 26. 极紫外光刻机的应用
- 图 27. EUV 光刻极大简化工艺步骤
- 图 28. EUV 光刻机
- 图 29. 电子束光刻
- 图 30. 紫外固化纳米压印技术
- 图 31. 光刻机的结构
- 图 32. 高压汞灯的光谱分布
- 图 33. 高压 汞灯的结构
- 图 34. 单腔 DUV 激光产生的原理
- 图 35. ArF 光源系统（ DUV ）
- 图 36. GIGAPHOTON 的 ArF 光源内部结构
- 图 37. 光源内置的测量模块
- 图 38. EUV 设备庞大的前驱激光装置
- 图 39. 光刻机中的 EUV 光产生装置
- 图 40. EUV 光源工作原理图
- 图 41. 光刻机照明与投影物镜系统的工作流程图
- 图 42. 光刻机照明与投影物镜系统结构
- 图 43. 光刻设备采用不同的照明方式
- 图 44. 像素化照明方式的成像效果
- 图 45. 光刻计算优化的掩膜版的成像效果
- 图 46. DUV 光刻机的照明系统
- 图 47. DUV 光刻机的物镜系统
- 图 48. 光刻中的波前畸变
- 图 49. 通过镜片形变补偿像差原理图
- 图 50. 通过局部加热补偿像差原理图
- 图 51. EUV 反射镜片
- 图 52. EUV 光刻机的照明与物镜系统
- 图 53. 工件台工作流程图
- 图 54. ASML 的双工件台
- 图 55. ASML 新型机台产能不断提高
- 图 56. 掩膜与晶圆上的对准图形
- 图 57. 配合工件台的对准传感器
- 图 58. 掩膜与工件台及晶圆的对准原理图
- 图 59. 晶圆表面的 3D 形貌图
- 图 60. 全球半导体资本开支（十亿美元）
- 图 61. 光刻设备占比最高
- 图 62. 全球光刻机市场规模（亿美元）
- 图 63. 全球显影涂胶设备市场规模（亿美元）
- 图 64. ASML 公司 EUV 与非 EUV 设备收入占比
- 图 65. ASML 公司各类光刻机出货量变化（台）
- 图 66. 不同工艺制程的光刻机开支占比
- 图 67. 光刻机市场的竞争格局
- 图 68. 光刻机 TOP3 出货量变动情况
- 图 69. 2021 年 TOP3 光刻机出货量（单位：台）
- 图 70. ASML 全球生产研发布局图
- 图 71. ASML 历年营收规模（单位：百万欧元）
- 图 72. ASML 发展历史
- 图 73. ASML 生态圈
- 图 74. 中国光刻机发展历程
- 图 75. 上海微电子发展历程
- 图 76. 600 系列光刻机 集成电路前道制造
- 图 77. 500 系列光刻机 —— IC 后道先进封装
- 图 78. 300 系列光刻机 集成电路前道制造
- 图 79. 200 系列面板光刻机
- 图 80. 中国光刻机相关技术
- 图 81. 苏大维格产品与技术布局
- 图 82. 苏大维格的各类光刻设备
- 图 83. 苏大维格的光学产品
- 图 84. 苏大维格各类产品营收情况（单位：亿元）
- 图 85. AR -HUD
- 图 86. 苏大维格光波导镜片
- 图 87. 光伏铜电镀技术以铜代银
- 图 88. 芯源微显影涂胶（喷胶）设备
- 图 89. 精测电子可用于光刻工艺检测测量的产品
- 图 90. ArF 工艺涂胶显影 Track 设备 ULTRA LI TH 产品图
- 图 91. 美埃科技产品结构
- 图 92. 上海微电子的高洁净度环境
- 图 93. 福晶科技发展历程
- 图 94. 福晶科技产品
- 图 95. 炬光科技发展历程
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