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环保行业深度报告：半导体配套治理：刚需&高壁垒铸就价值，设备国产替代&耗材突破高端制程！
- 2023-04-17 00:00:35上传人：As**er
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- 1. 刚需 &高壁垒铸就半导体配套治理价值
- 1.1. 半导体治理直接参与制程保障产品良率，为制程刚性需求
- 1.2. 技术要求 &客户认证彰显半导体配套治理高壁垒
- 2. 国产替代 &耗材模式化 &高端制程突破，半导体配套治理空间广阔
- 2.1. 半导体全球景气度高企，中国快速布局产能扩张
- 2.2. 设备：国产设备技术突破，废气治理 &臭氧国产替代加速
- 2.2.1. 泛半导体废气治理：国产化率约 20% ，头部公司加速实现国产替代空间翻倍
- 2.2.2. 半导体臭氧单元：国产化率约 10% ，即将实现突破
- 2.3. 耗材：盈利模式更优 &高端制程突破，洁净室过滤器 &电子特气稳定增长
- 2.3.1. 洁净室过滤设备：新建市场龙头地 位稳固，耗材市场份额提升
- 2.3.2. 电子特气：晶圆制造第二大耗材，逐步打开高端特气市场国产化局面
- 3. 投资建议
- 3.1. 美埃科技：国内电子半导体洁净室过滤设备龙头，产能扩张 &海外拓展助加速成长
- 3.2. 凯美特气：食品级二氧化碳龙头，电子特气发展势头强劲驱动公司新一轮成长期
- 3.3. 国林科技：臭氧设备龙头纵深高品质乙醛酸，国产化助横向拓展半导体清洗应用
- 3.4. 盛剑环境：国内泛半导体工艺废气治理领军企业，纵伸湿电子化学品
- 3.5. 华特气体：产品获国际龙头认证，下游领域拓展
- 4. 风险提示
- 请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所
- 行业深度报告
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- 图 1： 半导体配套治理环节示意图
- 图 2： 洁净室等级情况介绍及应用行业要求等级
- 图 3： 电子工业大气污染物排放标准更为严格
- 图 4： 2008 -2022 年全球半导体销售额金额（分地区）
- 图 5： 2021 年全球半导体市场销售拆分（按终端应用）
- 图 6： 2021 年我国 IC 自给率上升至 16.7%
- 图 7： 2013 -2021 年中国半导体产能占比提升
- 图 8： 全球晶圆厂资本开支强劲
- 图 9： 全球晶圆厂仍处于扩产周期
- 图 10 ： 2019 -2024E 年大陆面板设备资本开支
- 图 11 ： 中国特种气体及电子特气市场规模
- 表 1： 本土臭氧发生器龙头公司积极突破半导体用臭氧发生器技术难点
- 表 2： 各地区近期半导体产业发展支持政策梳理
- 表 3： 大陆主要晶圆厂扩产情况
- 表 4： 大陆主要制造商 TFT -LCD 产能（百万平方米）
- 表 5： 2023 年大陆废气治理系统空间 29 亿
- 表 6： 2023 年大陆废气治理设备市场 64 亿元
- 表 7： 泛半导体废气治理及制程附属设备市场份额及国产化率测算
- 表 8： 半导体治理相关公司梳理
- 表 9： 2022 -2025 年半导体臭氧单元市场空间测算
- 表 10 ： 高浓度臭氧发生器相关公司梳理
- 表 11 ： 本土臭氧发生器龙头公司积极突破半导体用臭氧发生器技术难点
- 表 12 ： 2025 年半导体洁净室过滤设备新增 /存量替换市场空间 18 /59 亿元
- 表 13 ： 洁净室过滤设备市场份额及国产化率测算
- 表 14 ： 洁净室设备及过滤器相关公司梳理
- 表 15 ： 国内电子特 气公司已实现进口替代并规模化供应的产品
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