2024年中国晶圆检测设备行业研究报告:半导体工艺控制核心设备,国产化率持续提升
- 2024-05-27 21:20:32上传人:Xi**止氺
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中国晶圆检测设备厂商基本实现了28nm及以上制程产品的初步覆盖中国晶圆检测设备厂商产品已覆盖有图形/无图形缺陷检测、电子束缺陷检测/复查等检测设备,并基本实现了28nm及以上制程的初步覆盖,国产头部厂商正在进行更先进工艺节点产品的研发或验证。国产晶圆检测设备厂商与海外厂商相比,其差异在于:1)产品覆盖程度不及
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