2023工博会 | 上海理工大学：更高端、更智能！科技创新助力产业升级

　　填补国内空白的解理制造自动化装备、情感模拟机器人、人形机器人……徜徉在工博会上海理工大学展区，纵使不懂原理、不懂技术，都想停下脚步，了解这些“黑科技”背后的故事，畅想科技创新助力产业升级的美好图景。

　　在展区里，一台方方正正的机器映入眼帘，看着不起眼的它可不简单，它是国产首台高端商用半导体激光器芯片巴条超精密解理制造成套设备，包括了半导体材料划片机、裂片机及配套制造控制软件等，主要技术指标达到国际先进水平。

　　用激光雷达实现城市内智能驾驶、以激光通讯与空间站进行星地通话、通过激光遥感“看”到更深的蔚蓝水中世界……在这些充满未来感的应用中，核心器件就是半导体激光器。“然而目前半导体激光器芯片巴条超精密解理制造整套自动化装备在国内还处于技术起步阶段，主要依赖日本、美国等公司进口生产设备，于是我们就想，能不能让设备‘中国造’呢？”上海理工大学超精密制造技术研究团队教授姜晨介绍，对半导体晶圆的解理加工，就是把极薄的晶圆的边缘表面加工成一个平面，对平面的粗糙度和精度的要求特别高，由于这个平面形状极为细长，传统磨削抛光的方式无法达到要求，团队联合上海微高精密机械工程有限公司经过五年多的技术攻关，攻克GaAs、InP、GaN等半导体材料解理加工成套装备、全套解理工艺和解理加工自动化辅助等多项关键技术，填补了多项国产技术空白。