中国科学院上海技术物理研究所低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备采购项目公开招标公告
项目概况
中国科学院上海技术物理研究所低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com获取招标文件,并于2025年08月26日 13点30分(北京时间)前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号:OITC-G250301733
项目概况
中国科学院上海技术物理研究所低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com获取招标文件,并于2025年08月26日 13点30分(北京时间)前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号:OITC-G250301733
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