中国电子科技集团公司第二十六研究所等离子体耦合全自动金属刻蚀机采购项目招标公告

中国电子科技集团公司第二十六研究所等离子体耦合全自动金属刻蚀机采购项目 国际标招标公告（二次公告） 1、招标条件 *项目概况： 等离子体耦合全自动金属刻蚀机，采用等离子体耦合，主要用于体声波（BAW）器件金属以及金属化合物薄膜刻蚀，满足高频、宽带和高功率的体声波器件制作要求。 *资金到位或资金来源落实情况：国拨资金,资金来源已落实。 *项目已具备招标条件的说明：资金来源已落