2020年12月底,比利时IMEC(Interuniversity Microelectronics Centre,微电子研究中心)推出全世界最小的基于鳍式场效应晶体管(FinFET)的生物传感器(BioFET),尺寸仅为13纳米鳍宽和50纳米栅极长,并成功在其300毫米洁净室实现生产。目前该传感器可检测的极限为几十个DNA分子,最终目标是能够实现单个DNA分子的高精度检测。 由于场效应晶体管(
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2025-08-12