“中国屏”镀上了“绍兴膜” 绍兴企业成功研发为显示屏镀膜的PVD设备

近日，从位于绍兴滨海新城的浙江上方电子装备有限公司徐徐驶出6辆大卡车，上面装载的是我国首套国产半导体显示核心装备——8.6代新型显示PVD（物理气相沉积）设备，将顺利交付给国内显示屏生产企业。

PVD设备是显示屏生产中非常核心的镀膜工艺制造设备，生产电视屏、手机屏、电脑屏等都要用到。“8.6代的PVD设备，能镀膜的显示屏尺寸更大，接近于4个75英寸大小的电视屏。”“上方电子”副总经理周海龙说，这套设备已处于世界先进水平，一举打破了这一领域美日企业垄断的局面。

我国是全球最大的显示屏生产国，但显示屏生产过程中用到的PVD等关键技术设备，始终被美国和日本公司垄断。过去3年，对这一关键技术设备我国完全依赖进口。为推动核心设备国产化，2014年，国家发改委和工信部联合对重点产业项目立项，其中一个项目就是“8.5代半导体显示PVD设备研发和产业化”。当时，创立才3年的“上方电子”通过评审，一举拿下了该项目。“拿下这个项目，靠的是研发实力。”周海龙介绍，“上方电子”100多名员工中，研发人员有40多人，核心研发人员来自美国硅谷和台湾省。更为重要的是，“上方电子”此前已成功研发出5.5代半导体显示PVD设备的样机。