网上政务大厅作为我区网上政务服务的“单一”窗口,目前正不断深化服务能级,眼看着这一切有序推进,第一提案人、区行政服务中心公共资源交易服务科科长潘亚生感到很欣慰,他知道,随着“放管服”制度改革的不断深化,G60科创走廊的营商环境会越变越优,他当初在提案中的设想也正在逐渐变成
在集成电路产业中,随着生产工艺不断提高,对制程工艺要求也更严格。此前,半导体专用温控装置等装备主要由国外进口,而北京京仪自动化装备技术有限公司(以下简称“京仪装备”)研发的“半导体生产线专用温控系统关键技术研发及应用” 改变了同类产品依赖进口的被动局面,打破了国外技术垄断,填补国内空白,并获得北京科学技术奖三等奖。
研发半导体生产线专用温控技术中的难点主要在于“精度”、“速度”和“可靠性”。其中“精度”是指控制温度的精度要达到要求,误差在±0.1℃。“速度”是指到达温度点的速率,根据控制对象的质量和体积不同,速率也会有所不同。“可靠性”是指设备整体的持续运转可靠性,集成电路产业生产设备是7×24小时运转、365天持续生产,在这样的大背景下,保证温控设备的正常运转才能保证整个生产的顺利进行。
京仪装备半导体专用温控装置主要应用在半导体领域,目前在12英寸生产线上的市场覆盖率高达80%。“未来,我们会将温控装置技术跟随市场的变化进行不断创新,并逐步向新的领域拓展。”京仪装备总经理赵力行如是说。