晶盛机电深度报告之【半导体设备】篇：迈向半导体+碳化硅设备龙头，设备+零部件协同布局铸造高壁垒
- 2023-07-17 13:00:21上传人：夜幕**骄阳
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- 1 半导体大硅片设备：大硅片时代已至，国产替代大势所趋
- 1.1 半导体硅片设备： 长晶、切片、研磨、抛光、外延设备为核心设备
- 1.2 市场空间： 未来 3年我国半导体大硅片设备年均市场空间将达 230 亿元
- 1.3 竞争格局：长晶设备国产化率高，切磨抛设备进口替代空间大
- 2 外延设备 ：进口替代率低 ，国产替代大有可 为
- 2.1 外延：应用于半导体与碳化硅领域的外延生长薄膜
- 2.2 市场空间：我国半导体 /碳化硅外延设备年均市场空间将达 25/21 亿元
- 2.3 竞争格局：国产化率低，进口替代空间大
- 3 半导体核心零部件：设备国产化关键环节，进口替代乘风起
- 3.1 半导体核心零部件：阀门、磁流体、腔体、电源、泵为核心零部件
- 3.2 竞争格局：海外厂商垄断，国产替代进行时
- 4 晶盛机电： 半导体 “设备 +材料 ”龙头，成长空间持续打开
- 4.1 半导体大硅片设备：半导体硅片设备龙头， 8+ 12 寸产品线全面布局
- 4.2 外延设备：碳化硅领域持续发力， 8英寸外延设备实现突破
- 4.3 核心零部件：上游延伸零部件业务，平台化布局空间打开
- 5 盈利预测与估值
- 5.1 盈利预测
- 5.2 估值分析与投资建议
- 6 风险提示
- 晶盛机电 (300316 )公司深度
- http:// www .stocke.com.cn 3/36 请务必阅读正文之后的免责条款部分
- 图目录
- 图 1： 2000 -2021 年全球半导体硅片：出货尺寸结构占比
- 图 2： 2021 年全球半导体硅片：出货尺寸结构占比
- 图 3： 半导体硅片核心工艺：长晶、切片、研磨、减薄、抛 光、外延
- 图 4： 单晶炉直拉法与区熔法工艺流程与产品构造
- 图 5： 切片机示意图
- 图 6： 金刚线切割相比游离磨料砂浆切割成本更低、效率更高
- 图 7： 倒角机示意图
- 图 8： 磨片机示意图
- 图 9： 抛光机示意图
- 图 10 ： 化学机械平坦化（ CMP ）工作原理
- 图 11： 减薄机示意图
- 图 12 ： 旋转工作台与硅片自旋转减薄机工作原理
- 图 13 ： 2021 年我国半导体硅片市场规模 119 亿元
- 图 14 ： 2021 年中国半导体硅片市场规模占全球 13%
- 图 15 ： 半导体外延片示意图
- 图 16 ： Si 产业链梳理：包括衬底、外延、设计、制造、封测等环节
- 图 17 ： SiC 产业链梳理：包括上游衬底和外延环节、中游器件和模块制造环节及下游应用环节
- 图 18 ： 半导体外延设备技术原理图
- 图 19 ： 各类碳化硅外延制备方法优劣势对比
- 图 20 ： SiC -CVD 外延设备工作原理
- 图 21 ： 2020 年全球外延设备竞争格局
- 图 22 ： 全球碳化硅外延设备竞争格局
- 图 23 ： 全球碳化硅外延设备对比
- 图 24 ： 半导体阀门结构图
- 图 25 ： 半导体阀门按 用途分类示意图
- 图 26 ： 磁流体密封装置示意图
- 图 27 ： 各类密封装置优劣势对比
- 图 28 ： 真空腔体示意图
- 图 29 ： 射频电源示意图
- 图 30 ： 真空泵示意图
- 图 31 ： 真空泵在半导体工 艺中的典型应用领域
- 图 32 ： 半导体硅片设备龙头，在硅片 +晶圆 +封装设备平台化布局
- 图 33 ： 半导体在手订单：截至 2022 年底达 33.92 亿元，同比增长 217.6%
- 图 34 ： 先进制程及功率半 导体外延设备示意图
- 图 35 ： 向上游延伸，布局半导体核心零部件、辅材等
- 晶盛机电 (300316 )公司深度
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- 表目录
- 表 1： 12 寸/8寸外延片设备投资额情况： 12 寸约为 8寸设备投资额的 4倍以上
- 表 2： 中国大陆 12 英寸半导体硅片扩产统计
- 表 3： 中国大陆 8英寸半导体硅片扩产统计
- 表 4： 2023E -2025E 半导体大硅片设备年均细分市场空间
- 表 5： 有研硅（ 2021 年）：单晶炉进口替代比例较高、已达 72% ，切磨抛设备仍待突破
- 表 6： 半导体硅片单晶炉国内竞争格局
- 表 7： 半导体硅片切片机竞争格局
- 表 8： 半导体硅片倒角机与研磨机竞争格局
- 表 9： 半导体抛光机设备竞争格局
- 表 10 ： 半导体硅片减薄机竞争格局
- 表 11： 中国大陆 12 英寸半导体硅外延片扩产统计
- 表 12 ： 中国大陆 8英寸半导体硅外延片扩产统计
- 表 13 ： 中国大陆碳化硅外延片扩产统计
- 表 14 ： 半导体阀门竞争格局
- 表 15 ： 磁流体密封装置竞争格局
- 表 16 ： 半导体电源竞争格局
- 表 17 ： 半导体真空泵 竞争格局
- 表 18 ： 分产品销售收入预测（单位：百万元）
- 表 19 ： 晶盛机电：与光伏设备主要上市公司估值比较
- 表 20 ： 晶盛机电：与半导体设备主要上市公司估值比较
- 表附录：三大报表预测值
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