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1期投资近1.5亿元!重庆“芯”制造工艺线顺利通线

11月5日,随着“重庆根、北理芯”的字样和一片MEMS晶圆浮现在启动台上,北京理工大学重庆微电子研究院(以下简称北理微电院)微纳制造工艺线在西部(重庆)科学城西永微电子产业园顺利通线。项目一期投资近1.5亿元。同日,北京理工大学与重庆西永微电子产业园在渝举行“2023西部微纳传感技术产学研融合交流会”。

  随着国内智能网联汽车、智能终端、可穿戴设备与消费电子的高速发展,以MEMS(集成微纳系统)为代表的主要应用于激光雷达、环境感知与智能传感器的芯片,迎来发展机遇期。

  北理微电院位于重庆西永微电子产业园,拥有近10000平方米建筑面积的科研大楼和1200平方米超净面积的6吋MEMS晶圆微纳制造工艺中试线,目前在职科研人员近90名,硕博比超过70%。

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