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工信部就《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见

　　据工信部网站消息，根据标准化工作的总体安排，工信部现将申请立项的《半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准、《雪莲养护贴》等1项行业标准外文版项目和《环境污染防治设备术语》等38项推荐性国家标准计划项目予以公示，截止日期为2023年12月16日。

（文章来源：财联社）

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工信部就《半导体设备 集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见