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普达特科技突破高温SPM清洗设备瓶颈 推动半导体高端装备自主化进程

报告网讯,在全球半导体产业加速国产替代的大背景下,湿法清洗设备作为晶圆制造的关键环节,其技术突破对提升产业链自主性具有重要意义。近日,普达特科技(00650)宣布在这一领域取得重要进展,成功获得国际客户对高温硫酸清洗(高温SPM)设备样机的订单,标志着国产高端半导体装备研发迈入新阶段。

一、核心技术突破:工艺性能与温控精度达到国际领先水平

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