半导体行业深度研究：半导体检测设备：从前道到后道，全程保驾护航
- 2021-03-18 05:04:26上传人：Ia**ac
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- 1. 检测设备：保驾护航、侦测并监控半导体关键良率偏移
- 1.1. 分类：前道量检测、后道测试，提升良率保障性能
- 1.2. 市场趋势：新应用涌现驱动市场潜力、工艺步骤倍增拓宽市场空间
- 1.3. 市场规模：重要地位日益凸显，中国增速高于全球
- 1.4. 竞争格局：国外高度垄断，国产替代需求迫切有望提速
- 2. 前道量检测设备：物理、功能性检查，提升良率，市场壁垒高筑
- 2.1. 三种分类标准：检测目的、应用范畴、技术原理
- 2.2. 检测目的分类：量测和检测，价值量随工艺技术同步提升
- 2.3. 应用范畴分类：关键尺寸、膜厚、套刻对准，光罩 /掩膜、图形、缺陷复查等 .. 12
- 2.3.1. 关键尺寸量测：监控线宽和孔径，实现精确误差测量
- 2.3.2. 薄膜厚度量测：厚度、反射率、密度量测，鉴定和监控不同薄膜层
- 2.3.3. 套刻对准量测：高阶矫正光刻机、掩模和硅片位置误差，提高覆盖精度 .. 13
- 2.3.4. 光罩 /掩模检测：捕获光罩缺陷和图案位置错误，降低缺陷引发风险
- 2.3.5. 无图形晶圆检测：检出裸晶圆颗粒及缺陷，奠定图形化检测基础
- 2.3.6. 图形化晶圆检测：比较图像生成缺陷图，识别物理和高纵横比缺陷
- 2.3.7. 缺陷复查检测：放大缺陷图像进行甄别，提供依据优化制程工艺
- 2.4. 技术原理分类：光学、电子束检测，应用互补，多方位检测
- 2.5. 全球市场及主要厂商：国外高度垄断，膜厚量测打开细分赛道突破口
- 2.6. 中国主要厂商：紧握细分市场机遇，产品陆续中标，拉动增长曲线
- 3. 后道测试设备：电性测试，新产线持续投入带动市场高速增长
- 3.1. 分类：测试机、探针台、分选机，保障性能助力良率提升
- 3.2. 全球市场：测试机市场份额过半
- 3.3. 测试机：测试器件电路功能及电性能参数，保驾护航贯穿始终
- 3.3.1. 全球市场及主要厂商：爱德万、泰瑞达寡头垄断，进口替代需求迫切
- 3.3.2. 中国主要厂商：积极布局追赶，夯实国内，开拓海外
- 3.4. 探针台：负责晶圆输送与探针定位，提升测试效率
- 3.4.1. 全球市场及主要厂商：东京精密、东京电子寡头垄断，中国增速加快
- 3.4.2. 中国主要厂商：抓住市场机遇，技术积累，蓄势待发
- 3.5. 分选机：高精度高兼容，负责产品的测试接触、拣选和传送
- 3.5.1. 全球市场及主要厂商：壁垒多重，格局未定，中国有望取得话语权
- 4. 风险提示
- 图 1：全球检测设备市场、分类及厂商
- 图 2：广义上的半导体检测设备分类
- 图 3：半导体在汽车中的应用
- 图 4：汽车领域缺陷导致产生的产品损失（百万美元）
- 图 5：2020 -2021 全球 GDP 和 IC 市场增量（ %）
- 图 6：全球半导体前道量检测设备市场规模 2016 -2020 （亿美元， %）
- 图 7：全球半导体后道测试设备市场规模 2016 -2020 （亿美元， %）
- 图 8： 2016 -2020 中国半导体检测设备市场规模（亿元）
- 图 9：2020 -2026 年中国半导体检测设备市场规模预测（亿元）
- 图 10 ：缺陷检测设备原理
- 图 11 ：关键尺寸量测
- 图 12 ：薄膜厚度量测
- 图 13 ：套刻对准量测
- 图 14 ：套刻对准量测和关键尺寸量测案例
- 图 15 ：膜厚量测设备案例
- 图 16 ：光罩 /掩模检测系统工作原理示意图
- 图 17 ：光罩 /掩膜缺陷检测系统案例
- 图 18 ：光罩 /掩模检测系统案例 2
- 图 19 ：EUV 掩模版缺陷检测：聚焦扫描原理示意图
- 图 20 ：EUV 掩模缺陷检测 1
- 图 21 ：EUV 掩模缺陷检测 2
- 图 22 ：极紫外光 EUV 相关设备
- 图 23 ：无图形晶圆上的缺陷检测流程
- 图 24 ：无图形晶圆上缺陷检测原理
- 图 25 ：检测工具中的光收集、加工和晶圆映射
- 图 26 ：无图形晶圆检测系统案例
- 图 27 ：图形化晶圆检测原理
- 图 28 ：图形化晶圆检测系统案例
- 图 29 ：缺陷复查设备功能
- 图 30 ：光学明场、暗场检测原理
- 图 31 ：电子束检测原理
- 图 32 ：电子束图案晶圆检测系统案例
- 图 33 ：光学明场检测设备案例
- 图 34 ：光学暗场检测设备案例 1
- 图 35 ：光学暗场检测设备案例 2
- 图 36 ：2016 -2020 全球半导体前道量检测市场规模及拆分（亿美元， %）
- 图 37 ：前道量检测细分赛道市场情况（ %）
- 图 38 ：2017 -2018 前道量检测市场格局（ %）
- 图 39 ：KLA 最新产品
- 图 40 ：应用材料 AMAT 检测设备
- 图 41 ：日立 Hitachi 检测设备
- 图 42 ：Onto 主要检测设备
- 图 43 ：ASMPT 图像传感器封测流程
- 图 44 ：ASMPT 检测设备
- 图 45 ：上海精测发展历程及产品
- 图 46 ：上海精测检测设备案例
- 图 47 ：中科飞测主要设备
- 图 48 ：上海睿励主要设备
- 图 49 ：Optima 主要设备
- 图 50 ：后道测试设备在集成电路流程中所处位置
- 图 51 ：中国测试设备构成及市场规模（单位： %，亿美元）
- 图 52 ：2019 年测试机主要设备公司及占比（ %）
- 图 53 ：泰瑞达测试机主要分类
- 图 54 ：爱德万主要测试机分类
- 图 55 ：ASMPT 光电产品应用解决方案及先进封装解决方案
- 图 56 ：ASMPT 主要测试设备
- 图 57 ：2019 测试机全球细分领域占比分类（ %）
- 图 58 ：2019 测试机中国细分领域占比分类（ %）
- 图 59 ：各公司测 试机适用领域
- 图 60 ：2018 年中国集成电路测试机产品结构（单位：亿元）
- 图 61 ：存储器测试设备分类及占比（ %）
- 图 62 ：长川科技主要设备
- 图 63 ：华峰测控主要设备
- 图 64 ：2020 主要测试机公司关键技术指 标对比
- 图 65 ：探针台
- 图 66 ：全球及我国探针台市场规模（亿元， %）
- 图 67 ：2019 年全球及我国探针台市场 TOP 企业格局（ %）
- 图 68 ：全球及我国探针台主要公司
- 图 69 ：全球分选机市场主要企业及 占比（ %）
- 图 70 ：长川科技主要分选机设备
- 图 71 ：上海中艺主要分选机设备
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