射频电源行业专题：等离子体加工设备核心零部件，实现设备自主可控的必要条件
- 2023-04-20 08:15:20上传人：人逝**落空
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- 射频电源：等离子体加工设备的核心零部件
- 射频电源设备价值占比约 12% ，国内市场空间约 60 亿人民币
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- 证券研究报告
- 图 1： 等离子体是 气体分子或原子与外层电子分开的一种状态
- 图 2： 等离子体应用于核产业
- 图 3： 等离子体在半导体产业应用
- 图 4： 射频电源示意图
- 图 5： 射频电源主要应用于半导体及光伏领域
- 图 6： 射频电源结构
- 图 7： 射频电源应用中通常离子密度和频率呈正比，离子能量和频率呈反比
- 图 8： 射频电源在 CCP 上应用
- 图 9： 射频电源在 ICP 上应用
- 图 10： 射频电源在 PECVD 上应用
- 图 11： 射频电源在 PVD 上应用
- 图 12： 阻抗匹配器说明
- 图 13： 功率放大器示意图
- 图 14： 半导体设备产线价值占比
- 图 15： 刻蚀设备市场规模（亿美元）
- 图 16： 薄膜沉积设备市场规模（亿美元）
- 图 17： 2021 年半导体零部件细分领域占比
- 图 18： 2021 年新增半导体设备全球分布
- 图 19： BIS 管制新规限制中国先进制程发展
- 图 20： 英杰电气发展历程
- 图 21： 英杰电气 2015-2022 年营业收入及增速（亿元）
- 图 22： 英杰电气 2015-2022 年归母净利润及增速（亿元）
- 图 23： 恒运昌射频电源
- 图 24： 恒运昌阻抗匹配器
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