在高水平科技自立自强中展现担当作为 首台国产12英寸晶边刻蚀机面世 北京经开区再现半导体设备“零”的突破

　　本报讯（融媒体中心李玉凤）芯片制造能力是实现国家集成电路乃至信息产业自主可控的关键，而设备就是基础。近日，北京经开区企业北方华创科技集团股份有限公司（以下简称北方华创）正式发布应用于晶边刻蚀（BevelEtch）工艺的12英寸等离子体刻蚀机AccuraBE，实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破，为我国先进芯片制造量身打造良率提升高效解决方案。

　　刻蚀机与光刻机是一对好朋友，二者都决定着芯片成品的性能，如果说光刻机就像工匠在木板上划线，而刻蚀机则按照木板上划线进行雕花。北方华创自2001年创立起就开始组建团队钻研刻蚀技术，从2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线，到带领国产刻蚀机从零到交付破千，北方华创历经了二十余载自主创新，不断为集成电路装备国产化进程贡献“亦庄智慧”。

　　本次发布的晶边刻蚀机是为了解决晶圆边缘副产物及残留物堆积越来越多的问题，从晶圆的边缘位置着手提高芯片良率。