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上海新阳：ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中

  1. 2023-01-28 18:27:33上传人：黑暗**rら
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　　上海新阳在互动平台表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。

（文章来源：南方财经网）

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