8月16日,记者从中国电子专用设备工业协会获悉,第11届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛、第11届半导体设备材料与核心部件展示会(CSEAC)近日举行。
会议明确,中国半导体产业结构日渐优化,产业链逐步完善,形成相互促进、共同发展的局面。瞄准未来,还需进一步加强产业链配套能力,制定出科学合理的发展战略。
中国电子专用设备工业协会副秘书长李晋湘表示,我国半导体设备厂商正面临三个挑战:一是缺乏某类设备,不能形成体系化生产流程;二是设备齐全,但特殊工艺要求无法满足;三是设备和工艺虽然完善,但关键工艺不稳定、不可靠。