实现国产化！我国研制成功中子探测器用高性能大面积碳化硼薄膜

　　记者从中国科学院高能物理研究所获悉，近日，中国散裂中子源（CSNS）探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置，成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品，实现了中子探测器关键技术和器件的国产化。

　　△高性能大面积碳化硼薄膜样品

　　高性能大面积碳化硼薄膜单片面积达到1500mm×500mm，薄膜厚度1微米，全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%，是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。