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这台单晶炉让碳化硅告别“盲盒生长”

  走进晶升股份展厅,几台形状不一的设备映入眼帘,或酷似黑色柜子,或形似圆柱体,这均是不同类型的碳化硅晶体生长设备。将碳化硅粉料、籽晶等原辅料填入设备,设置相应的运行配方,经过一周左右高温、低压的锤炼,这些设备里将长出单晶碳化硅锭。

  碳化硅作为第三代半导体材料,具备耐高压、低损耗和高频等优势,被广泛应用于新能源汽车、光伏逆变、轨道交通、5G通信等领域。

  “公司已成功研发了8英寸电阻法碳化硅单晶炉,解决了碳化硅‘盲盒生长’的瓶颈,让晶体生产‘可视’,降低了研发成本,为后期8英寸衬底量产提供了设备基础。”晶升股份董秘吴春生近日接受证券时报记者采访时表示。

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