集成电路企业自研产品填补国产设备空白

研发人员正在进行试验。东方晶源/供图

　　本报讯（融媒体中心孙英健）近日，中国科协正式发布2022年“科创中国”系列榜单，北京经开区企业东方晶源微电子科技（北京）有限公司（以下简称东方晶源）申报的“电子束硅片图形缺陷检测与关键尺寸量测设备关键技术及应用”项目荣登“科创中国”先导技术榜。在多年的研发创新中，东方晶源连续突破高速高精度硅片传输定位、高速图像像差补偿、自动缺陷检测和智能分类、小线宽尺寸量测四项关键技术和多项配套技术，成功推出电子束缺陷检测设备（EBI）与关键尺寸量测设备（CDSEM）并完成产线验证，领跑国内相关细分领域。

　　据了解，东方晶源研发生产的电子束缺陷检测设备可解决28nm及以上制程的缺陷检测问题，在产线量产近2年，可靠性达到90%以上，使用率达到80%以上。关键尺寸量测设备的量测结果和重复性可以达到国际主流设备的容差范围，能够解决28nm/40nm制程图形量测需求，其中线宽大于90nm的layer已经与POR设备match，并进入产线使用，设备可靠性达93%。