半导体设备行业点评报告:荷兰半导体设备管制靴子落地,ALD、EPI等设备国产化加速
- 2023-07-04 09:05:32上传人:遗忘**en
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- 1 荷兰半导体出口管制新规:涉及先进光刻机、 ALD 、外延、沉积设备
- 1.1 荷兰政府先进半导体设备管制 “靴子落地 ”,国内成熟制程扩产无虞
- 1.2 ASML 成熟制程光刻机不受限,长期愿景仍基于全球需求
- 2 ALD 设备:管制升级 ,推荐微导纳米、拓荆科技、北方华创
- 3 外延设备:先进芯片制造关键设备,推荐北方华创、中微公司
- 4 投资建议
- 5 风险提示
- 行业点评
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- 图 1: 北方华创覆盖硅、 SiC 、 GaN 、 InP 外延
- 图 2: 北方华创已实现 4到 12 英寸外延设备全覆盖
- 表 1: 6月 30 日荷兰发布半导体出口管制条例 —— 半导体先进 生产设备附件
- 表 2: 2023 年 6月 30 日,阿斯麦公告表示仅成熟制程光刻机出口不受限制
- 表 3: ASML 光刻机中 EUV 及 2000i 以上浸没式 DUV 受到出口管制(注:标灰为预计受管制机台)
- 表 4: ALD 工艺特点:良好的三维共形性、均匀性、精确控制
- 表 5: 微导纳米、拓荆科技、北方华创是国内领先的 ALD 设备公司,多种产品处于产业化应用或者验证阶段
- 表 6: 北方华创部分外延设备
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