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2025-2030年全球与中国钎焊材料行业市场现状调研分析
2025-08-12
光刻机动态跟踪：国产ArF光刻机首台套突破，解读设备工艺参数
- 2024-10-10 22:45:20上传人：遗忘**en
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工信部推广国产“首台套”ArF光刻机。9月2日，工信部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，其中在“电子专用装备”类目中包含氟化氪（KrF）光刻机、氟化氩（ArF）光刻机两类产品。本次入选意味着国产KrF、ArF光刻机均已实现技术突破，可用于市场推广。其中，较为先进的ArF光刻机可实现≤65nm分辨率
- 中包含氟化氪（ KrF ）光刻机、氟化氩（ ArF ）光刻机两类产品。本次入选意味着
- 国产 KrF 、 ArF 光刻机均已实现技术突破，可用于市场推广。其中，较为先进的
- ArF 光刻机可实现≤ 65nm 分辨率，≤ 8nm 套刻精度。
- ➢ 解读光刻机参数与制程节点的对应关系：
- 1）分制程节点如何命名？
- 制程节点的命名早期来自晶体管的关键尺寸。 例如 500nm 制程节点的晶体管
- Half -Pitch 与 Gate Length 均为 500nm 。但随着制程演进，实际的晶体管尺寸
- 已经与命名产生差异 ， 需要考虑的是光刻机分辨率与实际尺寸之间的关系。
- 2）光刻机分辨率
- 光刻机分辨率很大程度上取决于光源波长，波长越短，分辨率越高。当前 主流的
- i-line 光刻机可实现 350nm 的分辨率， KrF 光刻机可实现 150nm 分辨率， ArF
- 光刻机可实现 65nm 分辨率， ArF 浸没式光刻机可实现 38nm 分辨率。
- 3）光刻机的套刻精度
- 套刻精度指的是每一层光刻图案与上一层光刻图案对准的 平面误差范围，与光刻
- 机的分辨率共同决定了能加工的制程节点。
- 对比海外龙头的 性能 参数， 本次实现首台套突破的国产 ArF 光刻机在分辨率上
- 与 ASML 的 ArF 光刻机 1460K 相同，但套刻精度上仍有差距。
- ➢ 三大关键子系统是国产化的核心难点 。光源、光学系统、工件台是光刻机的
- 三大关键子系统，也是国产替代的核心难点。当前，光源主要由 ASML 旗下 Cymer
- 垄断市场，光学系统由德光光学巨头蔡司领衔，工件台则为各家光刻机整机厂商
- 自主设计制造。
- ➢ 投资建议： 先进光刻机是国产晶圆厂发展先进工艺制造的关键瓶颈，国产光
- 刻机的技术突破有利于未来国内晶圆厂的扩产提速，从而带动整个国产半导体设
- 备行业需求增量。建议关注：
- 半导体设备： 北方华创、中微公司、拓荆科技、中科飞测、精测电子、芯源微、
- 华海清科等；
- 光刻机零部件： 波长光电、茂莱光学、晶方科技、腾景科技、炬光科技、美埃科
- 技等。
- ➢ 风险提示： 光刻机研发不及预期；国产替代导入不及预期；半导体行业周期
- 性波动 。 重点公司盈利预测、估值与评级
- 代码 简称 股价
- （元）
- EPS （元） PE（倍） 评级 2023A 2024E 2025E 2023A 2024E 2025E
- 002371 北方华创 405 .00 7.32 10.46 14.93 55 39 27 推荐
- 688012 中微公司 198 .00 2.87 2.52 3.74 69 79 53 推荐
- 688072 拓荆科技 167.7 0 2.38 2.68 4.36 70 63 38 推荐
- 688361 中科飞测 72.32 0.44 0.33 0.86 165 216 84 推荐
- 688037 芯源微 97.52 1.25 1.47 2.01 78 66 49 推荐
- 688120 华海清科 183.51 3.06 3.97 5.10 60 46 36 推荐
- 资料来源： Wind ，民生证券研究院预测 ;（注：股价为 2024 年10 月9日收盘价）
- 推荐 维持评级
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- 分析师 方竞
- 执业证书： S0100521120004
- 邮箱： fangjing@mszq.com
- 分析师 张文雨
- 执业证书： S0100524060002
- 邮箱： zhangwenyu@mszq.com
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- 行业动态报告 /电子
- 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 2
- 目录
- 1 引言：工信部推广国产 “首台套 ”ArF 光刻机
- 2 光刻机参数与制程节点的对应关系
- 2.1 制程节点如何命名？
- 2.2 光刻机核心参数解析
- 2.3 ASML 主要光刻机参数梳理
- 3 三大关键子系统是国产化的核心难点
- 3.1 光源系统
- 3.2 光学系统
- 3.3 工件台系统
- 4 投资建议
- 5 风险提示
- 插图目录
- 表格目录
- 行业动态报告 /电子
- 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 3
- 1 引言：工信部推广国产“首台套” ArF 光刻机
- 9月 2日，工信部 印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（ 2024
- 年版） 》，旨在 促进首台（套）重大技术装备创新发展和推广应用 。其中在“电子专
- 用装备”类目中包含 氟化氪 （KrF ）光刻机 、氟化 氩（ ArF ）光刻机 两类产品。
- 据市场监管总局 和发改委相关文件， 首台（套）重大技术装备，是指国内实现
- 重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、
- 核心系统和关键零部件等。 本次入选意味着国产 KrF 、ArF 光刻机均已实现技术突
- 破，可用于市场推广 。其中， 较为先进的 ArF 光刻机可 实现 ≤65nm 分辨率， ≤
- 8nm 套刻精度。
- 对比海外龙头产品参数，我们认为该 国产光 刻机从 参数指标上看 有望 满足
- 90/ 65nm 成熟制程 制造。 具体光刻设备的参数如何对应工艺制程节点 ，以及光刻
- 机国产替代难点，我们将在后文展开讨论。
- 图1： 《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录 》相关内容
- 资料来源： 工信部 ，民生证券研究院
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