深圳：围绕晶圆制造装备以及高档数控机床等力争实现“从0到1”的突破 解决尖端技术“卡脖子”问题

　　证券时报网讯，深圳市工业和信息化局、深圳市科技创新局、深圳市财政局印发《深圳市关于推动高端装备产业集群高质量发展的若干措施》的通知，其中提出，突破重大装备技术。围绕晶圆制造装备、面板制造前段制程装备，以及具备战略意义的高档数控机床、精密仪器设备、海洋工程装备等，力争实现“从0到1”的突破，解决尖端技术“卡脖子”问题。

　　（一）实施重大战略性原创性项目攻关计划。围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备；曝光机等面板制造前、中道制程设备；超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床；高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器；重大深海采矿装备等整机和核心零部件，开展重大技术装备攻关项目，按比例最高给予3000万元资助。

　　（二）推动重大技术装备验证与应用。通过“试用+提升+采购”应用机制，鼓励下游制造企业首次试用我市企业研制的填补国内空白或打破国际垄断的重大技术装备，按照可对标的同类型设备市场销售价格，按比例对本地制造企业试用用户给予一次性试用补贴，单台装备最高不超过100万元。